GB/T 39145-2020 -硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法-即将实施

发布单位:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准号:GB/T 39145-2020

中文标准名称:硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

英文标准名称:Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态:即将实施


中国标准分类号(CCS)
H17
国际标准分类号(ICS)
77.040

发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01

主管部门
国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

备注

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