GB/T 34085-2017 -电子工业用气体 三氟甲烷-现行

发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

标准号:GB/T 34085-2017

中文标准名称:电子工业用气体 三氟甲烷

英文标准名称:Gas for electronic industry—Trifluoromethane
标准状态:现行


中国标准分类号(CCS)
G86
国际标准分类号(ICS)
71.100.20

发布日期
2017-07-31
实施日期
2017-11-01

主管部门
国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注

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